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酷叡由沙子構成!解析CPU制造全過程[圖]


http://www.enorth.com.cn  2007-07-06 13:48

● 光刻蝕

    這是目前的CPU制造過程當中工藝非常復雜的一個步驟,為什麼這麼說呢?光刻蝕過程就是使用一定波長的光在感光層中刻出相應的刻痕, 由此改變該處材料的化學特性。這項技術對於所用光的波長要求極為嚴格,需要使用短波長的紫外線和大曲率的透鏡。刻蝕過程還會受到晶圓上的污點的影響。每一步刻蝕都是一個復雜而精細的過程。設計每一步過程的所需要的數據量都可以用10GB的單位來計量,而且制造每塊處理器所需要的刻蝕步驟都超過20步(每一步進行一層刻蝕)。而且每一層刻蝕的圖紙如果放大許多倍的話,可以和整個紐約市外加郊區范圍的地圖相比,甚至還要復雜,試想一下,把整個紐約地圖縮小到實際面積大小只有100個平方毫米的芯片上,那麼這個芯片的結構有多麼復雜,可想而知了吧。

   
 單晶硅錠和最初的核心架構

    當這些刻蝕工作全部完成之後,晶圓被翻轉過來。短波長光線透過石英模板上鏤空的刻痕照射到晶圓的感光層上,然後撤掉光線和模板。通過化學方法除去暴露在外邊的感光層物質,而二氧化硅馬上在陋空位置的下方生成。


 英特爾技術人員在監測自動濕刻蝕工具中的晶圓,
該工藝可清除晶圓上多餘的操作助劑或者污染物。

● 摻雜 

    在殘留的感光層物質被去除之後,剩下的就是充滿的溝壑的二氧化硅層以及暴露出來的在該層下方的硅層。這一步之後,另一個二氧化硅層制作完成。然後,加入另一個帶有感光層的多晶硅層。多晶硅是門電路的另一種類型。由於此處使用到了金屬原料(因此稱作金屬氧化物半導體),多晶硅允許在晶體管隊列端口電壓起作用之前建立門電路。感光層同時還要被短波長光線透過掩模刻蝕。再經過一部刻蝕,所需的全部門電路就已經基本成型了。然後,要對暴露在外的硅層通過化學方式進行離子轟擊,此處的目的是生成N溝道或P溝道。這個摻雜過程創建了全部的晶體管及彼此間的電路連接,沒個晶體管都有輸入端和輸出端,兩端之間被稱作端口。

● 重復這一過程

     從這一步起,你將持續添加層級,加入一個二氧化硅層,然後光刻一次。重復這些步驟,然後就出現了一個多層立體架構,這就是你目前使用的處理器的萌芽狀態了。在每層之間采用金屬涂膜的技術進行層間的導電連接。今天的P4處理器采用了7層金屬連接,而Athlon64使用了9層,所使用的層數取決於最初的版圖設計,並不直接代表著最終產品的性能差異。 

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編輯:趙國棟
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