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● 前段Array制程:薄膜/黃光/蝕刻/剝膜(一)
液晶面板制造的前段Array制程主要是『薄膜、黃光、蝕刻、剝膜』四大部分,如果僅僅是這樣看,很多網友根本不解這四步的具體含義,以及為什麼會這樣做。
首先,液晶分子的運動與排列都需要電子來驅動,因此在液晶的載體——TFT玻璃上,必須有能夠導電的部分,來控制液晶的運動,這裡將會用ITO(Indium Tin Oxide,透明導電金屬)來做這件事情。ITO是透明的,也成薄膜導電晶體,這樣纔不會阻擋背光。
液晶分子排列的不同以及快速的運動變化,纔能保證每個像素精准顯示相應的顏色,並且圖像的變化精確快速,這就要求對液晶分子控制的精密。ITO薄膜需要做特殊的處理,就猶如在PCB板上印刷電路一般,在整個液晶板上畫出導電線路。
首先,需要在TFT玻璃上沈積ITO薄膜層,這樣整塊TFT玻璃上就有了一層平滑均勻的ITO薄膜。然後用離子水,將ITO玻璃洗淨,准備進入下一步驟。
接下來,要在沈積了ITO薄膜的玻璃上涂上光刻膠,在ITO玻璃上形成一層均勻的光阻層。然後烘烤一段時間,將光刻膠的溶劑部分揮發,增加光阻材料與ITO玻璃的粘合度。
用紫外光(UV)通過預先制作好的電極圖形掩模版照射光刻膠表面,使被照光刻膠層發生反應,在涂有光刻膠的玻璃上覆蓋光刻掩模版在紫外燈下對光刻膠進行選擇性曝光。