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● 前段Array制程:薄膜/黃光/蝕刻/剝膜(二)
我們以一個像素單位為例,如上圖,這個像素中,淺色部分未曝光,而深色的是曝光部分。
接著,用顯影劑將曝光部分的光刻膠清洗掉,這樣就只剩下未曝光的光刻膠部分,然後用去離子水將溶解的光刻膠衝走。
顯影之後需要加熱烘烤,讓未曝光的光刻膠更加堅固的依附在ITO玻璃上
然後用適當的酸刻液將無光刻膠覆蓋的ITO膜的蝕刻掉,只保留光刻膠下方的ITO膜。ITO玻璃為(In2O3 與SnO2)的導電玻璃,未被光刻膠覆蓋的ITO膜易與酸發生反應,而被光刻膠覆蓋的ITO膜可以保留下來,得到相應的拉線電極。