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在日本橫濱舉行的臺積電日本高管論壇上,臺積電研發部門高級副總裁蔣尚義談及了多個熱門話題,包括40nm和28nm工藝、產能和良品率問題、高K材料技術、未來的22nm工藝等等。
1、40nm工藝產能蔣尚義表示,40nm工藝上馬初期客戶需求量就非常高,遠遠超過了此前世代工藝,因此在產能上很難及時滿足。
目前臺積電Fab 12工廠每月能夠生產大約8萬塊40nm工藝300毫米晶圓,Fab 14工廠也會很快加入其中,預計到今年底的時候兩座工廠的總產能會達到16萬塊。
2、40nm工藝良品率蔣尚義稱,40nm工藝遭遇的良品率已經在去年下半年徹底解決,正在迅速擴充產能以滿足客戶需求。
他指出,轉向45/40nm碰到的挑戰是前所未有的,比如這是臺積電第一次使用193nm沈浸式光刻技術,出現缺陷的幾率更高。開始的時候臺積電使用的是第二代低K材料,K值為2.5,這時候材料非常脆弱,不過臺積電也已經開始了第三代的研發。
3、28nm工藝臺積電28nm工藝的第一個版本是低功耗的28nm LP,引入了多晶硅柵和二氧化硅硝酸鹽,將於今年六月底投產。
4、高K金屬柵極高性能版本的28nm HP工藝纔會第一次引入高K金屬柵極(HKMG)技術,預計今年九月份投產,之後十二月增加28nm HPL,同樣有HKMG。
5、22nm工藝28nm之後臺積電計劃進軍到22nm工藝,時間間隔大概是兩年,所以,首次投產應該會在2012年第三季度前後,但初期只有高性能版本,2013年第一季度末增加低功耗版本。
對於22nm和再往後的20nm,臺積電將引入新的生產模型,首現就是第二代HKMG技術。
6、光刻技術臺積電會繼續使用193毫米沈浸式光刻,如果超遠紫外線(EUV)或者多重電子束直接寫入技術能夠更成熟、成本更低,臺積電會考慮引入。
蔣尚義透露,新技術成本相當高,比如單單一套EUV設備就需要8000萬美元左右。